Monokristalin büyümesinden söz ederken "doping" hakkında da bahsetmiştik. Bununla birlikte doping işlemi son yonga plakasında ve sonrasında, litofotografi işleminde de uygulanabilir. Bu bize tüm kristal yapısının özelliklerini değiştirmektense belirli bölgelerin ve katmanların elektriksel özelliklerini değiştirmemizi sağlar (kısmi doping).
Doping olacak madde difüzyon (yayınım) ile eklenir. Doping maddesi, boş kısımları kristal yapılarla doldurarak silikon yapıların arasına konuşlandırır. Bazı durumlardaysa silikon yapıların yerini bile alabilmektedir. Difüzyon (yayınım) işlemi gazlarla (Azot ve Argon) katı veya farklı maddelerle de yapılabilmektedir.
Başka doping türü ise iyon emplantasyondur (aşılama). Bu işlem ortam sıcaklığında yapılır ve özellikle de önceden doping olmuş bir yonga plakasının değiştirilmesine yarar. Bu işlem ile daha önceden doping edilmiş maddenin yerine geçilir. Yonga plakasının sadece belirli kısımlarını işlemden geçirmek için yonganın bazı yerlerini maskelemek mümkündür. İyon aşılaması (implantation) hakkında söylenecek çok şey var, örneğin nüfuz derinliği, doping edilen maddenin yüksek ısılarda etkinleşmesi, kanallaşma, vs ama bunlardan bahsedersek çok fazla ayrıntıya girmiş ve bu makalenin amacından sapmış oluruz.
Maskenin Hazırlanması
Maskenin yaratılması için fotolitografik yöntem kullanılmaktadır. Tüm yonga hamurunun yüksek yoğunluklu ışığa veya farklı enerji kaynaklarına maruz kalmasını istemiyorsanız maskelerle çalışmak önemli olur bunun sayesinde sadece belirli bölgelere ışığın gelmesi sağlanabilir. Maskeleri siyah beyaz filmlerin negatifleri ile kıyaslayabiliriz. Tümleşik devreler birçok katmandan oluşmuşlardır (20 veya üstü); bunun sonucunda her bir katman için ayrı ayrı maskeler vardır.
Kromdan yapılmış çok ince bir katman kuvartz camın üzerinde örüntülenir ve buna da retikül (dürbünün göz merceğine yerleştirilen çizgi veya telden ibaret ağ) denir. Elektron hüzmesi veya lazerler kullanan çok pahalı aletler ile tümleşik devrelere veriler yazılır ve krom kaplı kuvartz katman oluşturulur. Maskenin tasarımında herhangi bir değişiklik yapılmak istediğinde yeni kullanılmamış bir maskeye ihtiyaç duyulur ki bu da işlemleri çok pahalı bir hale getirir. Özellikle devrelerin çok karmaşık yapıda olması maskelerin yaratılması işlemini çok maliyetli kılar.
